

更新时间:2025-12-30
浏览次数:18切割胶带是一种贴在半导体晶圆背面的胶带。
将半导体晶圆分割成单个芯片(晶粒)的过程称为切割工艺。这是将半导体晶圆分割成可用于产品的晶粒所必需的步骤,也是一项需要高精度和稳定性的重要工艺。切割胶带用于在切割过程中固定晶圆和晶粒。
切割胶带牢固地贴附在晶圆背面,在切割过程中为芯片提供可靠的支撑。这确保了芯片切割精准无错位,从而获得高质量的产品。此外,由于胶带能够稳定芯片的位置,切割过程得以精确进行,提高了生产效率。
切割胶带主要用于半导体行业。以下列举了一些应用实例。
MEMS是微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)的缩写,指的是小型电子机械。在MEMS器件的制造过程中,使用切割胶带切割具有精细结构的晶圆。这样可以确保在产品制造过程中,这些精细结构不会受到损坏。
传感器是用于检测各种物理量和环境参数的装置。切割胶带也用于传感器的制造。它通常用于在制造加速度计、陀螺仪和其他器件时精确切割晶圆。
光学器件利用光来处理和检测信息。晶圆,尤其是在光学器件中,可能非常薄且易碎。切割胶带可以保护这些薄膜,防止在加工过程中受到损坏。
切割胶带采用聚烯烃或聚酯等聚合物薄膜作为基材,使胶带具有柔韧性,能够贴合晶圆的曲面。
在基板的一侧涂覆粘合剂,以牢固地固定晶圆。这种粘合剂通常是丙烯酸类或硅基的,能够牢固地粘附在晶圆表面。粘合剂的重要性能包括粘合强度和耐热性。
粘合剂大致分为两类:紫外线释放型和压敏型。
使用前,会在粘合剂上暂时贴上一层保护性离型膜,以防止外部污染。离型膜通常由易于撕除的薄膜制成。
切割胶带需要具备强大的粘合力以牢固地固定晶圆,但同时,加工后又必须易于移除。保持这种平衡对于保证产品质量至关重要。
选择切丁胶带时,需要考虑以下因素:
选择切割胶带的关键在于选择与晶圆尺寸相匹配的胶带尺寸。必须选择合适的宽度和长度,以匹配晶圆的直径和形状。通常建议胶带宽度略大于晶圆直径。
粘合剂类型大致分为UV释放型粘合剂和压敏粘合剂,粘合强度是指切割胶带与晶圆之间的粘合力。选择合适的粘合强度可以牢固地固定晶圆,防止其在切割过程中滑动。粘合强度因产品规格而异,通常以牛顿/毫米(N/mm)等单位表示。
基膜材料会影响胶带的柔韧性、耐热性和化学稳定性。其选择取决于晶圆的特性和制造工艺的要求。聚烯烃和聚酯是常用的材料。
PET材质柔韧性好,适用于一般环境,且具有优异的化学稳定性。聚酰亚胺具有优异的耐高温性能,常被制成轻薄而坚固的基材。
经硅酮脱模处理的薄膜通常用作离型纸。
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