京都玉崎有限公司宣告：日本MIYUKI（美幸辉）MS-VP 真空压力复合控制器 已抵达苏州仓并完成全功能验收，即日起供应真空镀膜（PVD/CVD）、半导体晶圆传输、冷冻干燥机及真空热处理炉等关键工艺设备。MS-VP是一款专为复杂真空环境设计的复合式压力控制器，集成了真空度控制与正压控制功能于一体，完好解决了从大气环境到高真空环境的全过程压力管理难题。
MS-VP的技术核心在于其独特的双传感器信号采集技术。设备内部可同时接入大气压型压力传感器（用于监测正压及接近大气压的真空区域）与皮拉尼/电容薄膜规（用于监测低真空至高真空区域）。控制器内置的智能算法能够自动识别当前压力区间，并平滑切换控制信号，避免了单一传感器在全量程下的测量盲区。其控制模式极为灵活，支持“设定点控制"、“外部模拟量控制"以及“程序控制"。特别是程序控制功能，允许用户预设多达20步的压力变化曲线（如斜坡上升、阶梯保持、斜坡下降），非常适用于需要复杂工艺配方的热处理与镀膜流程。
本批MS-VP到货产品均附带原厂校准证书，京都玉崎技术人员对其压力开关量输出精度进行了逐台复检。设备配备了3路或以上的继电器输出，可分别设置为真空到达信号、压力异常报警及系统故障停机信号，为工艺安全提供了多重保障。人机交互方面，MS-VP采用了高分辨率的图形点阵液晶屏，能够以数字、曲线或模拟表盘等多种形式直观展示压力变化趋势。针对真空系统易受气体成分影响的特点，MS-VP还提供了气体类型补偿系数设置，进一步提升了测量与控制的准确性。
考虑到真空设备通常价格昂贵且停机成本高昂，京都玉崎为MS-VP客户提供了多方位的增值服务。我们不仅提供标准的设备安装指导，还可协助客户进行真空系统的泄漏率测试与PID参数优化。对于使用进口真空泵的客户，MS-VP的标准信号输出可直接与泵的频率控制端对接，实现真正的闭环变频控制，显著降低能耗。MS-VP的加入，使得京都玉崎在真空工艺控制领域的解决方案更加完整，为客户提升产品良率与生产效率奠定了坚实基础。
更新时间：2026-07-22 
浏览次数：5
产品分类
扫一扫
您的位置：