LG-600V 的本质是把 SLG-150V 的 LED 通道换成 7 倍芯片面积,并用「连续/脉冲双模恒流源」供电:连续模式 410VA 满流;脉冲模式电容缓冲+MOS 斩波,实现 <1μs 上升、最小脉宽 1μs,峰值电流为连续的 3–5 倍但占空比受限(典型 <10% 防过热)。外部 TRIG 经光耦进 FPGA,延时抖动 <200ns,满足线阵相机行同步。
PD 光反馈路径:在匀光棒侧壁开采样窗,分光 1% 给积分球 PD,ADC 每 10μs 采一次,与设定照度做 PI 运算修正恒流设定值。连续模式下补偿 LED 老化(30,000h→70% 时自动提流),脉冲模式下则做「脉宽-幅度交叉补偿」,保证不同重复频率下单脉冲能量一致——这是氙灯闪光做不到的(氙灯衰减非线性且受气压影响)。
光机结构:6.6kg 铝合金腔体分三层——LED 铜基板(底层水冷预留)、匀光棒中层、滤片/光纤耦合前腔。强迫风冷风道独立隔离电子板,避免光纤端热回流。φ8–14mm 光纤座带陶瓷套筒,耐受 7× 常规功率密度不碳化。
应用上,SiC 晶圆 4 英寸全幅透射需 >200 万 lux,连续卤素会烤弯薄片,SLG-600V 用 5μs 脉冲冻结热扩散,单帧曝光均匀性 >95%。这是它进半导体前段的核心理由。