京都玉崎株式会社 高纯流体应用顾问
半导体前驱体气体、高纯载气（6N级氮气/氩气）及可燃/助燃气体的流体控制组件，必须满足严苛的洁净度与析出物管控要求。FUJIKIN UD-11500HPE作为UD系列的超高纯度/特种气体对应型（E型配置），是京都玉崎向国内芯片fab厂、光伏电池及显示面板企业重点推介的手动针阀方案。
HPE型本体材质仍为SUSF316锻造不锈钢，内表面通常执行更高级别的电化学抛光（EP）或镜面钝化，接液部实施一级或二级禁油（Oxygen Clean）处理——所有接液表面经溶剂超声清洗去除油脂残留，仅在阀杆螺纹与非接液O型圈处涂敷微量氧兼容润滑脂，附禁油清洗证明。部分E型批次还可指定氦检漏率指标（如<1×10⁻⁹ Pa·m³/s）及低析出填料配置，以匹配Specialty Gas（特气）管路的规范要求。
该阀保持24.8 MPa耐压、面板安装（φ30.5mm）、外螺纹Rc连接形式不变，CV值0.35～0.5，使用温度-50℃～+80℃。碟片可根据特气兼容性选PCTFE（惰性气体）或金属对金属（氧化性/强腐蚀特气）。手柄排水孔设计防止冷凝积水。
京都玉崎所有进口的UD-11500HPE均随货提供原厂禁油处理报告、材质证明及气密测试记录。对于特气管路中的Purge/vent手动切断、钢瓶架减压器后的一次切断及GC/MS采样支路隔离，推荐选用HPE型以确保系统纯度不受阀门析出物污染。用户在安装时请注意使用无油工具并按扭矩要求紧固面板螺母，避免破坏禁油状态。
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更新时间：2026-06-01 
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