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更新时间：2025-10-20 
浏览次数：13真空元件是组成真空设备和系统的各种器件和零件的总称，是用以产生和维持真空环境的机械元件。
真空部件要求高气密性和耐久性，因此材料的选择和表面处理至关重要。主要使用不锈钢和铝合金等金属材料，并通过表面处理来抑制气体的逸出。此外，在真空部件的连接处，还会使用密封件和垫圈，以确保高气密性。根据使用环境和所需的真空度，会选择金属垫圈、橡胶O形圈等密封材料。
真空系统的可靠性在很大程度上取决于每个组件的性能，因此在选择真空组件时需要仔细考虑。特别是在超高真空范围内，组件的气体排放对真空度有显著影响，因此必须综合考虑材料、表面处理、连接方法等因素。
真空泵系统使用各种真空泵以及阀门、真空计和法兰等真空组件。真空阀控制气体流量，真空计测量系统内的压力。法兰用于连接管道和设备，这些组件协同工作，实现高效的真空抽真空。
电子显微镜和质谱仪等分析仪器在样品室和检测器中使用各种真空组件。真空室、真空导入器和真空密封件等组件能够维持测量所需的真空环境。特别是，对于进行高灵敏度分析的仪器，必须最大限度地减少真空组件释放的杂质。
薄膜沉积设备使用许多真空组件来确保稳定的薄膜沉积过程。真空室、各种端口和快门机构等组件可创建适合薄膜沉积的真空环境。专用真空组件也常用于装载和卸载样品的负载锁系统中。
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