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更新时间：2025-07-14 
浏览次数：29干涉仪是通过测量光照射到物体上时产生的干涉现象来测量物体的表面形状、折射率、尺寸等的装置。
干扰是指多个波叠加、相互增强或抵消，从而产生新波形的现象。当多个波来自同一源头，或具有相同或相似的频率时，干扰最为明显。
干涉仪有多种类型，例如迈克尔逊干涉仪、马赫-曾德尔干涉仪和斐索干涉仪。
干涉仪的主要应用是对物体表面进行非接触式观察，包括玻璃、金属、陶瓷等平板。玻璃的例子包括智能手机的盖玻片、液晶显示器的玻璃、分色光学系统中使用的棱镜以及半导体掩模基板，金属的例子包括模具和铝盘。
此外，它还可以测量电子设备半导体器件中使用的硅晶片、硬盘基板等特殊材料。射电干涉仪还用于射电望远镜的天文观测。
主干涉仪将光源发出的光分成两束，一束光穿过样品后，与另一束光发生干涉。此时，光路会根据穿过样品的折射率和距离而变化，从而产生干涉条纹图案。
通过分析这些干涉条纹的图案，干涉仪可以测量样品的表面形状和透射波前形状。干涉仪可以测量的最大尺寸为几厘米到十几厘米。如果样品很大，则需要一些巧妙的技巧，例如将其切断。
干涉仪既可以测量平面抛光表面，例如玻璃平板、晶圆和镜子，也可以测量球面，例如光学透镜、钢球和塑料透镜。此外，还有多轴干涉仪，可以在两个或三个轴上进行测量，从而节省空间，提高测量灵敏度。
激光扫描干涉仪还可以测量平面以外的表面，例如圆柱面。它们可用于测量玻璃、光纤端面、陶瓷、研磨金属表面、注塑塑料等。干涉仪种类繁多，因此需要选择 适合您应用的型号。
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