双轴平台(XY轴平台)是具有两个轴的定位平台:X轴用于左右移动,Y轴用于前后移动。
双轴平台的优点在于使用两个轴可以轻松定位。双轴平台一般由沿各个轴方向移动的平台堆叠而成。
双轴平台的精度和特点根据引导平台的导向机构和移动平台的进给机构而有所不同。
2 轴平台可用于多种需要定位的应用场合。例如需要对工件进行定位的半导体制造设备、需要对样品进行定位的显微镜等。
双轴平台有多种类型,根据导向机构和进给机构的不同,精度从低到高精度不等。此外,根据导向和进给机制的不同,特征也不同。因此,需要根据应用选择具有适当精度和功能的2轴平台。
双轴工作台配备有工作台导向机构和进给机构。下面我们将对各机制的代表性方法进行说明。
燕尾槽法:
采用梯形燕尾槽与燕尾槽相配合的燕尾榫的导向机构。燕尾槽在燕尾槽内滑动。由于摩擦系数较大,不适合高精度定位。另一方面,它的低成本使其成为简单定位应用的理想选择。
交叉滚柱式
采用内置滚柱的滑块与带有V型槽的导轨的导向机构。当滑块沿导轨移动时,滚轮与V型槽的侧面呈线接触滚动。其特点是刚性强。此外,由于它能够以低摩擦的方式进行小幅进给,因此也适合精确定位。
滚珠型
这是采用内置滚珠的滑块与带有圆弧状R槽的导轨的导向机构。当滑块沿导轨移动时,滚珠会紧贴R槽的侧面滚动。
R槽与钢球的接触良好,其特点是对任何方向的载荷均具有稳定的载荷能力。与交叉滚子方式相比,运动精度无明显差别,适合精确定位。
齿条小齿轮
是一种进给机构,它使用形成齿条齿轮的轨道和称为小齿轮的齿轮。其特点是可以快速移动载物台,但不适合高精度的定位。
采用公螺纹和母螺纹的螺旋式进给机构。例如,滚珠丝杠就是这种进给机构的一个例子。工作台可以以螺距的分辨率移动,从而可进行精细移动,但进给速度较慢,不适合长行程定位。
这是一种螺旋式进给机构,其进给精度比微米进给螺旋更高。其内部结构与进给丝杠几乎相同。它有一个刻度,所以你可以看到准确的运动量。它的进给速度也较慢,因此不适合长行程定位。
根据用途选择导向机构与进给机构的组合,构成双轴工作台。双轴平台不仅限于手动操作;有些平台还具有驱动每个轴的电机。
此时,定位精度由进给机构的精度和驱动电机的分辨率决定,因此选择电机的规格也很重要。一般需要精确定位的地方,都会采用伺服电机或者步进电机。
双轴平台通常具有一个底座、一个X轴平台和一个Y轴平台。 Y轴工作台可相对于底座在Y方向(向前/向后)移动,X轴工作台可相对于Y轴工作台在X方向(向左/向右)移动。
例如,若进给机构为进给丝杠,则Y轴进给机构的外螺纹安装在底座上,Y轴进给机构的内螺纹安装在Y轴工作台上。另外,X轴进给机构的外螺纹安装在Y轴平台上,X轴进给机构的外螺纹安装在X轴平台上。
当Y轴进给机构使Y轴工作台相对于底座在Y方向上进行进给时,X轴工作台也沿Y方向进行移动。当X轴进给机构使X轴工作台相对于Y轴工作台在X方向上进行进给时,仅X轴工作台在X方向上移动。
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