线性工作台是配备有线性伺服电机的工作台机构。采用线性编码器进行位置检测及全闭环控制,形成机电一体化直接驱动系统,具有精确的定位和运行性能。
通过将两个正交轴组合而成的XY轴、垂直的Z轴、旋转工作台的θ轴等多个轴进行组合,可以制作XY工作台、XYZ工作台、XYZθ工作台等多轴工作台,并可根据用途配置轴。
由于直线伺服电机是直驱电机,因此不需要任何中间机构即可驱动。它可以提高机器性能、节省空间、提高环境友好度、减少维护并实现长距离操作。
利用这些特性,线性平台可用于精密定位和运输应用。
对于精密定位应用,与滚珠丝杠、齿条和小齿轮以及皮带等传送机构相比,它提供高精度定位和出色的速度稳定性。
线性平台用于需要高定位精度和速度稳定性的精密加工和检测设备。
例如,它可用于以下目的:
・激光加工机、半导体曝光装置、探测器等对定位精度有较高要求的装置
・涂装机、图像检查装置等对速度稳定性有较高要求的装置
・振动试验机、激振器、模拟器等通过往复运动抑制振动,并具有高加速度的装置
其他应用包括长行程运输装置、高速处理器和高速压力机中的材料输送机制。
线性平台以线性伺服电动机作为驱动源,以线性编码器检测位置,以直线轴承作为移动部的导向机构,按照控制电动机的伺服驱动器的指令进行移动。
一般而言,直线平台的定子上有磁铁单元,动子上有线圈单元。
当电流通过线圈时,便产生地场,根据电磁感应定律,在线圈单元中沿磁体单元产生驱动力,使动子产生行程。
另外,直线平台需要线性编码器来检测位置,通过高分辨率编码器的精确位置检测和伺服驱动器的全闭环控制,实现了高精度和速度稳定性。
为了使线性平台实现高精度,每个部件的安装条件和性能非常重要。直线轴承又称
直线导轨,其运转精度及安装面的精度对直线平台的直线度有很大的影响。
考虑到阿贝原理,建议将线性编码器安装在靠近工作点的位置。
另外,直线伺服电机本身也是一个热源。由于是直接驱动机构,热量很容易传递到工件和线性编码器,而热膨胀会导致精度的变化。
因此提高散热性能、增加冷却机制等措施 不可少。
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