什么是真空法兰？

更新时间：2024-05-16

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真空法兰是真空设备中使用的法兰。

法兰是用于压力容器的圆形或方形板状零件。该部件用于连接其他设备或附加观察窗，同时保持容器的气密性。其中真空法兰用于在设备内部创造真空环境。

外周设有螺纹孔和凹槽，法兰用螺栓和螺母紧固在一起。出于密封目的，通常使用垫圈或填料来密封产品。标准有NW、KF、JIS等多种。

真空法兰广泛应用于需要真空设备的各个行业。下面是它的用途。

在半导体行业中，真空环境对于晶圆制造过程至关重要。通过在真空下进行蒸发和蚀刻等工艺，可以制造高质量的半导体器件。真空法兰用于保证真空室气密，防止杂质进入，同时保证气体和反应物的引入。

在光学设备行业，真空环境用于光学元件（例如透镜和镜子）的镀膜工艺。通过在真空环境下进行镀膜，可以涂覆高精度且厚度均匀的薄膜，从而提高光学性能。真空法兰对于确保涂层材料沉积过程中真空室内的气密性并防止杂质污染非常重要。

用于发电的蒸汽轮机使用一种称为冷凝器的装置将蒸汽转化为纯水。在冷凝器内，蒸汽被冷却并返回纯水，在内部形成真空。真空法兰是维持冷凝器连接点真空条件的重要部件。

在研发领域，真空设备用于合成新材料和研究物理性质。特别是物理、化学实验往往需要在真空下进行反应和样品分析，必须在进行实验的同时防止外界空气和杂质的侵入。这使得能够使用更高纯度的样品进行实验，从而加速科学发现和技术创新。

真空法兰用于确保真空系统的气密性。用于连接两个或多个管道、管子等的机械连接零件。它对于防止杂质和空气从外部进入同时保持内部真空状态起着重要作用。

真空法兰通过在法兰连接处使用垫片、填料等密封材料来保证气密性。这是一种将密封材料夹在法兰的接触面之间并通过螺栓和螺母紧固来压缩的机构。这甚至可以关闭最小的间隙并防止气体从外部泄漏。

真空法兰常采用SUS316L、SUS304等不锈钢材料。使用镍合金（例如铬镍铁合金）也可以提高耐腐蚀性。采用聚四氟乙烯填料和铜垫片作为密封剂以保证气密性。

根据标准的不同，真空法兰有多种类型。以下是这些类型的一些示例。

也称为 KF (Klein Flansche) 法兰或 NW (Normschliff) 法兰，广泛应用于中真空至高真空范围。它采用模块化设计，使用密封材料和卡箍实现气密连接。易于安装和拆卸，非常适合经常更改配置的设备。

CF（Conflat Flang）法兰专为超高真空应用而设计，并使用铜或不锈钢制成的金属垫片进行连接。它可以实现非常高的气密性和真空度，并且能够抵抗热循环和化学腐蚀。

ANSI（美国国家标准协会）法兰是主要用于低真空应用的美国标准。它也用于一般管道系统，通常使用螺栓和螺母连接。

JIS是定义日本工业标准的标准，为许多工业产品和技术制定标准。真空法兰还有JIS标准，主要适用于日本制造的真空设备。使用螺栓和螺母进行紧固是很常见的。

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