ULVAC 爱发科 溅射离子泵 日本供应从大气压到高真空的排气系统各种实验、研究装置的排气系统高纯气体的真空置换超高真空装置的粗抽排气系统分析装置的排气系统
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品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 价格区间 | 2万-3万 |
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仪器种类 | 真空泵 | 产品类型 | 无油泵 |
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,生物产业,农林牧渔,建材/家具,综合 |
供货号 | 137.1702.5688 |
ULVAC 爱发科 溅射离子泵 日本供应
ULVAC 爱发科 溅射离子泵 日本供应
特点
应用于极・超真空,已通过ISO标准,极限压力10-9 Pa测试 。
稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。(与本公司相比)
在超高真空范围内实现高抽速。
在短时间内可以达到超高真空。
在超高真空范围内具有出色的启动特性。(超高真空范围内持续放电)
用途
加速器
电子显微镜
电子束曝光装置
讨厌振动的分析装置
极・超高真空环境下的使用等
型号 | PST-030CU | PST-030AU | PST-050CU | PST-050AU | PST-100CX | PST-100AX | |
主要对象气体 | 活性气体 | 希有气体 | 活性气体 | 希有气体 | 活性气体 | 希有气体 | |
排气速度* (再生排气速度) | 0.03m3/s (N2 测定时) | 0.013m3/s (Ar 测定时) | 0.045m3/s (N2 测定时) | 0.016m3/s (Ar 测定时) | 0.10m3/s (N2 测定时) | 0.05m3/s (Ar 测定时) | |
到达压力 | 10-9Pa | ||||||
动作压力 | 推荐值 | <8.0×10-3Pa | <5.0 x 10-3Pa | ||||
内容积 | 0.67 X 10-3m3 | 1.3x10-3m3 | 3.3x10-3m3 | ||||
泵元件数量 | CU型单元×1 式 | AU sell×1式 | CU sell×1 | AU sell×1 | CX sell×1 | AX sell×1 | |
连接法兰规格 | UFC070 | UFC114 | UFC152 | ||||
施加电压 | DC+7.5kV | ||||||
加热器 | 无设定 | AC200V, 300W | AC200V, 320W | ||||
烘烤温度 | 250℃ | ||||||
质量 | 9.5 kg | 12kg | 37kg | ||||
外形尺寸 | W x H x D | 103×183×187 mm | 153×204×241mm | 155×336×340mm | |||
使用环境 | 温度范围 | 5~40℃ | |||||