ULVAC 爱发科 涡轮分子泵 日本现货 原装

ULVAC 爱发科 涡轮分子泵 日本现货 原装

ULVAC 爱发科 涡轮分子泵 日本现货 原装

特点

• 辅助泵可以选择：辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外，还可以选择搭 载干泵的规格。

• 优良的停电对策：前级阀门为标配的电磁阀，防止停电时候逆流发生故障。

• 可确认粗抽状况：标配有皮拉尼真空计，可在粗抽排气过程中确认压力

• 可排气至UHV区
  安装选购配件的烘烤加热器并进行脱气处理，可以排气至UHV区。

YTP系列Ver.B是搭载陶瓷球轴承型涡轮分子泵的高真空排气单元。
可实现从大气压到高真空的排气。
产品阵容中既有可通过START/STOP开关自动排气的SA型，也有手动操作的M型。
此外，辅助泵的标准规格为油回转泵，也可选择干式涡旋泵的干式规格。

特点

• 辅助泵可以选择：辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外，还可以选择搭 载干泵的规格。

• 优良的停电对策：前级阀门为标配的电磁阀，防止停电时候逆流发生故障。

• 可确认粗抽状况：标配有皮拉尼真空计，可在粗抽排气过程中确认压力

• 可排气至UHV区
  安装选购配件的烘烤加热器并进行脱气处理，可以排气至UHV区。.

• YTP系列Ver.B是搭载陶瓷球轴承型涡轮分子泵的高真空排气单元。
  可实现从大气压到高真空的排气。
  产品阵容中既有可通过START/STOP开关自动排气的SA型，也有手动操作的M型。
  此外，辅助泵的标准规格为油回转泵，也可选择干式涡旋泵的干式规格。