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ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵 原装现货

ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵 原装现货
LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过螺杆形状和节电技术的融合,使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
在4种机型中,您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。

  • 产品型号:UR421-T/UR600
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-04-26
  • 访  问  量:118
立即咨询

联系电话:13717025688

产品详情
品牌ULVAC/日本爱发科价格区间2万-3万
仪器种类真空泵产品类型无油泵
产地类别进口应用领域化工,生物产业,农业,建材,综合
供货号137.1702.5688

ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵  原装现货

ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵  原装现货

  • 特点

  • 高温区域均热化
    实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
    UR系列可比HR系列更加高温化。

  • 氦气密封
    通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构,非常安全。

  • 瞬停对策
    采取了1000msec以内瞬停对策。

  • 出色的耐腐蚀性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

  • 通信功能
    可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信,则可实现集中监控。


       用途

  • CVD装置

  • 蚀刻装置

  • 灰化装置

  • ALD、ALH 等


规格

型号UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
机械增压泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排气速度
50Hz410 m3/h
(6833 L/min)
653 m3/h
(10883 L/min)
1012 m3/h
(16867 L/min)
1701 m3/h
(28350 L/min)
2700 m3/h
(45000 L/min)
到达压力
5.0 Pa
最大排气压力(吸入圧力)大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1.0~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排气口VG50
NW40
NW50
质量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
电源 *2三相180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
电流值稳定时23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷却水一次压力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷却水出入口压差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa



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