TORAY/东丽直插式氧气浓度计玉崎供应

TORAY/东丽直插式氧气浓度计玉崎供应 MS-500
●最多可同时测量 8 个点
●可显示从 ppm 级到 100% 的多种浓度。
●安装在半导体制造设备、真空设备等上。
●直插式传感器（真空NW法兰16/25/40）
●高耐用传感器采用特殊涂层，进一步提高耐用性

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TORAY/东丽直插式氧气浓度计玉崎供应 MS-500

●最多可同时测量 8 个点

●可显示从 ppm 级到 100% 的多种浓度。

●安装在半导体制造设备、真空设备等上。

●直插式传感器（真空NW法兰16/25/40）

●高耐用传感器采用特殊涂层，进一步提高耐用性

測定原理			氧化锆浓差电池类型
形状			分体式（传感器：壁挂式、传感器：直插式）
表示方式			数字4位显示（浓度显示）
测量范围			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2　10 -20 ~10 -0 atm 自动量程
繰返性			±0.5%FS 0-1% 量程或更高，以及 ±1%FS 或 ±0.1ppm（以较大者为准）小于 0-1% 量程 0-1ppm，ATM 量程超出保证浓度范围
測定点数			1～8
样气条件	压力		10 -3 ~200KPa（绝压）
	流量		0.5至5,000mL/min或0mL/min（自然扩散状态的测量）
	湿度		露点低于环境温度
	温度		0～100℃
	其他的		不含腐蚀性气体（氟气、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、可燃性成分（包括瓦斯）、油类、水分。
比较气体			气氛
录音机输出			仅传输输出
变速输出			RS-232C
警報出力			没有任何
热身时间			6分以内
尺寸	MS-500（控制器）		92（宽）×44（高）×120（深）（不含突出部分）
	MS-510(変換機)		100（宽）×40（高）×88（深）（不含突出部分）
	传感器单元	SD16NW	总长100mm（传感部分Φ11×39、本体部分Φ40×51）
		SD25NW	总长100mm（传感部分Φ11×42、本体部分Φ40×48）
		SD40NW	总长100mm（传感部分Φ11×41、本体部分Φ40×49）
質量	MS-500（控制器）		約0.6Kg
	MS-510(変換器)		約0.5kｇ
	传感器单元	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	约0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部连接			任一真空法兰（NW16、25、40）
使用電源			24VDC±10%